|
Расходомер и регулятор расхода
- FPM(витоновые)- или металлические уплотнители
- Тепловые, электромагнитные или пьезоэлектрические вентили
- Различные газовые переходники (Swagelok-, VCR-совместимые)
- Аналоговый или цифровой выходной сигнал
Оснастка для MFC
- Запорные клапаны
- Газовые фильтры
- Хомут-адаптер, высококачественная сталь
FCU-4
- Компактный контроллер для четырех регуляторов потока частиц (MFC)
|